潘秋冰看着眼前的像一个圆球的真空泵,
“在我的实验计划中,首先用真空泵将反应器中的空气排出,然后将氩气和氢气(体积比95:5)充分混合后通入,使得反应器中压强维持在0.8x10Pa附近,在这个时候开启电源,电极间就会产生产生均匀的等离子体。”
陈灵婴一挑眉,这和她那天晚上针对等离子体密度不均时提出的解决办法有异曲同工之妙。
“反应源气体硅烷通过等离子体区域时被裂解,在玻璃基片上沉积得到多孔氧化硅薄膜。为使放电均匀,实验采用平行梳状电极,电极间距5mm左右。为了得到不同的性质薄膜,实验中在沉积区域加上脉冲偏压进行调节,偏压固定在-350V,占空比调节范围在0.162-0.864之间。”
潘秋冰深呼吸一口气,看向陈灵婴,二人对视,
“沉积用玻璃片首先在丙酮和酒精中分别超声15min,然后用去离子水冲洗,最后用氮气吹干待用。”
“如果不出意外的话,实验成功。”
潘秋冰看起来很严肃,不知道怎么回事陈灵婴突然想逗逗她,
“那出了意外实验失败了怎么办?”
潘秋冰依旧很严肃,板着一张脸一本正经地说:
“那可能是因为你坐在这里影响了实验室的风水。”
陈灵婴轻笑出声,“看来我要祈祷实验顺利完成得到潘指挥您想要的结果,不然我就会被扣上一顶影响风水的大帽子。”
潘秋冰也跟着笑,“开玩笑的,你又不是坐在里面,外面能有什么影响呢?”
头顶是白炽灯,亮得晃人眼睛,在这里如果不看时间是分不清白天黑夜的,因为头顶的这盏灯会一直亮着。
就算停电了也会亮着。
因为它有蓄电功能,羲和基地还有自己的发电机。
没有人说话,这一方天地突然安静了下来。
只有设备运转发出的声音,不大,叫人无法忽视,不小,但能听见旁边人的呼吸。
不知道过了多久,是潘秋冰率先又开了口,