“工件台的定位精度影响对准精度，运动的速度决定了光刻机每小时的硅片曝光量，光刻机的精度和效率全靠工件台的技术水平。 ”

“现在青华那台光刻机，是要精度没速度，要速度没精度。他们现在是需要停下来，手动调节，这你敢信？”

林天河原来哪知道这个，他之前听过双工件工件台这个名词，上市的华焯精创他还买过股票。

但是这工件台是怎么工作的，他是一无所知。

现在总算明白了，这就相当于春节卖对联，写一个字，往上面拉一下纸再写下一个。拉的位置不准，字写错位置，整张纸就废了。拉的太慢，一上午写不了几幅。

当然，人没有这么笨，还可以通过手臂调节，写到正确的位置上的，机器却不行。

但是青华的光刻机是手动调节？

光刻一个位置后，通过手柄移动位置？

一个位置调节要几分钟？几十分钟？还是几个小时？

老头又说道：“工件台的精度和速度要求极高，需要瞬间急加速然后瞬间急停。后世的工件台按照瞬间的加速度算，已经超过火箭发射升空的速度，而且还需要在下一刻精准的停在位置上，不能出现任何差错，因为这种速度下任何差错都没办法弥补。错了虽然不至于整片晶圆报废，但只能重来！”

这是人类在与物理极限做斗争呀，现在的光刻机要差很多吧？

林天河问道：“那后世的光刻机是怎么解决这个问题的？有没有借鉴意义？”

老头说道：“这方面的技术思路，最开始使用伺服电机驱动，但是精度不够。后来改用油压驱动，又会产生巨大的噪声和震动。”

“再往后，进步到气悬浮和磁悬浮。大致思路我知道，但是这个我完全不懂。ASML的磁悬浮，再搭配量测工具，那是他们的绝招，不会外传的。”

这东西，老头不懂，林天河更是不懂。听名字，大概知道是什么东西，但是具体是怎么工作的？鬼知道！

老头接着说道：“刚才就说到测量工具，这东西你肯定懂，但是重要性你却不懂！测量的精度，你更是一无所知！早在1930年代，David Mann就制作出了微米轮，可以测量1/1000毫米。”

“1959年，GCA公司收购了David Mann创办的这家机械测量仪器公司，成立了事业部。1961年，David Mann公司发布了现代意义上的第一台光刻机，型号971。从这里你就可以看到测量精度的重要性！”

测量工具的重要性，林天河能够理解，但是要精密度要多高，老头没说。

比如你生产一台光刻机，你怎么知道能达到什么光刻精度？

安装时，地面的平整度，物镜与掩膜板的距离，掩膜板与工作台的距离，工件运送硅片的位置，全都需要测量。